Wojcik, Henry


Untersuchungen zur Anwendbarkeit;Ruthenium-basierter Schichten für die Verdrahtu
Wojcik, Henry

Die vorliegende Arbeit widmet sich einer Problemstellung, welche in Cu-Damaszenstrukturen mit einer Verjüngung der Cu-Leitbahnen auf weniger als 50 nm..

ISBN:
978-3-86386-962-5

20,00 € Preis ohne Steuer 19,05 €

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